DIN 50441-3-1985 半导体工艺材料的检验.第3部分:半导体切片几何尺寸的测量.第3部分:用多射线干涉法测定抛光切片的平面偏差

作者:标准资料网时间:2024-05-10 17:43:15 浏览:9296 来源:标准资料网

【英文标准名称】:Testingofmaterialsforsemiconductortechnology;measurementofthegeometricdimensionsofsemiconductorslices;determinationofflatnessdeviationofpolishedslicesbymeansofthemultiplebeaminterference
【原文标准名称】:半导体工艺材料的检验.第3部分:半导体切片几何尺寸的测量.第3部分:用多射线干涉法测定抛光切片的平面偏差
【标准号】:DIN50441-3-1985
【标准状态】:作废
【国别】:德国
【发布日期】:1985-09
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DE-DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:定义;测量;半导体工程;检验;平面度测量;干涉测量法;半导体器件;平整度;表面;半导体;半导体工艺;试验设备;光学测量;误差;精整;几何;试验;材料
【英文主题词】:Definition;Definitions;Errors;Finishes;Flatnessmeasurement;Flatness(surface);Geometry;Inspection;Interferometry;Materials;Measurement;Opticalmeasurement;Semiconductordevices;Semiconductorengineering;Semiconductortechnology;Semiconductors;Surfaces;Testequipment;Testing
【摘要】:
【中国标准分类号】:H82
【国际标准分类号】:29_045
【页数】:5P;A4
【正文语种】:德语

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